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真空漏閥是一種在真空系統(tǒng)中用于控制氣體流動(dòng)的裝置,通常用于限制氣體從真空系統(tǒng)中泄漏出去的速率,從而保持真空度。
真空系統(tǒng)中的漏閥通常是一種單向閥門,可以讓氣體從真空系統(tǒng)中流出,但不允許氣體流入。漏閥通常包括一個(gè)或多個(gè)可調(diào)節(jié)的孔或開口,允許氣體從真空系統(tǒng)中漏出,而不會讓大氣壓力進(jìn)入系統(tǒng)中。漏閥的大小和數(shù)量可以根據(jù)需要進(jìn)行選擇,以滿足真空系統(tǒng)的特定需求。
真空漏閥通常用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)應(yīng)用中,例如真空熱處理、真空鍍膜、半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中,保持適當(dāng)?shù)恼婵斩仁欠浅V匾?,而漏閥則是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的關(guān)鍵組件之一。
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