問:超高真空閘閥對(duì)烘烤溫度有要求嗎?
答:之前我們介紹過(guò)高真空、三位真空等不同類型的閘閥對(duì)烘烤溫度的要求,都應(yīng)≤ 150 °C,而超高真空閘閥更加耐烘烤,溫度要求為≤ 200 °C。
超高真空閘閥
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